Veranstaltungsprogramm

Innovationscampus Elektronik und Mikrosensorik (iCampµs) - Strukturwandel in der Lausitz

Christine Dr. Ruffert, Michael Dr. Scholles

Fraunhofer IPMS / BTU-CS, Deutschland

Herstellung hochfester Drucksensoren mithilfe innovativer Silizium-Keramik Technologie (SiCer)

Cathleen Kleinholz¹, Michael Fischer¹, Andrea Cyriax², Michael Hintz², Thomas Ortlepp², Jens Müller¹

¹Technische Universität Ilmenau, Deutschland; ²CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Erfurt, Deutschland

Technologiestudie zur Dünnschichtstrukturierung auf LTCC-Substraten mittels Lift-Off-Verfahren

Uwe Ziegler, Heike Bartsch, Jens Müller

Technische Universität Ilmenau, Deutschland