IMAPS Herbstkonferenz 2024

17. - 18. Oktober 2024 | München

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Veranstaltungsprogramm

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Sitzungsübersicht

Sitzung

Emerging Technologies 1

Zeit:

Donnerstag, 17.10.2024:

9:10 - 10:25

Chair der Sitzung: Indira Käpplinger, CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH | IMAPS

Ort: Hörsaal

Präsentationen

Innovationscampus Elektronik und Mikrosensorik (iCampµs) - Strukturwandel in der Lausitz

Christine Dr. Ruffert, Michael Dr. Scholles

Fraunhofer IPMS / BTU-CS, Deutschland

Herstellung hochfester Drucksensoren mithilfe innovativer Silizium-Keramik Technologie (SiCer)

Cathleen Kleinholz¹, Michael Fischer¹, Andrea Cyriax², Michael Hintz², Thomas Ortlepp², Jens Müller¹

¹Technische Universität Ilmenau, Deutschland; ²CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Erfurt, Deutschland

Technologiestudie zur Dünnschichtstrukturierung auf LTCC-Substraten mittels Lift-Off-Verfahren

Uwe Ziegler, Heike Bartsch, Jens Müller

Technische Universität Ilmenau, Deutschland

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